[发明专利]板状体的研磨方法有效
申请号: | 201080024409.7 | 申请日: | 2010-06-01 |
公开(公告)号: | CN102458766A | 公开(公告)日: | 2012-05-16 |
发明(设计)人: | 河内辰朗;城山厚 | 申请(专利权)人: | 旭硝子株式会社 |
主分类号: | B24B47/12 | 分类号: | B24B47/12;B24B7/24;B24B29/00;B24B47/16 |
代理公司: | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人: | 高培培;车文 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 在使板状体沿着规定的方向移动并利用自转的研磨工具对板状体进行研磨的板状体的研磨方法中,使所述研磨工具的自转方向在规定时间反转。 | ||
搜索关键词: | 板状体 研磨 方法 | ||
【主权项】:
一种板状体的研磨方法,一边使板状体沿着规定方向移动,一边利用进行自转的研磨工具对板状体进行研磨,其特征在于,使所述研磨工具的自转方向在规定时间反转。
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