[发明专利]含羟基自由基水供给方法和含羟基自由基水供给装置无效

专利信息
申请号: 201080024514.0 申请日: 2010-06-01
公开(公告)号: CN102459092A 公开(公告)日: 2012-05-16
发明(设计)人: 田中忠玄;盐见元信;上野晃裕 申请(专利权)人: 仓敷纺织株式会社
主分类号: C02F1/72 分类号: C02F1/72;C02F1/78;C11D7/18;C11D7/26;C11D17/08;H01L21/304
代理公司: 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 代理人: 陈万青;王珍仙
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 发明提供可将较高浓度的含羟基自由基水提供给使用点,且在简便性方面优异的含羟基自由基水供给方法。所述含羟基自由基水供给方法包括:将臭氧、过氧化氢以及选自由水溶性有机物、无机酸、所述无机酸的盐和肼构成的组中的至少一种以上的添加物质溶解于纯水而生成含羟基自由基水的生成工序;将生成的含羟基自由基水移送至使用点的移送工序;以及在使用点供给移送后的含羟基自由基水的供给工序。
搜索关键词: 羟基 自由基 供给 方法 装置
【主权项】:
一种含羟基自由基水供给方法,其特征在于,包括:生成工序,将臭氧、过氧化氢以及选自由水溶性有机物、无机酸、所述无机酸的盐和肼构成的组中的至少一种以上的添加物质溶解于纯水而生成含羟基自由基水;移送工序,将生成的含羟基自由基水移送至使用点;和供给工序,在使用点供给移送后的含羟基自由基水。
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