[发明专利]III族金属氮化物单晶的培养方法以及用于该方法的反应容器有效
| 申请号： | 201080026135.5 | 申请日： | 2010-06-10 |
| 公开（公告）号： | CN102803583A | 公开（公告）日： | 2012-11-28 |
| 发明（设计）人： | 岩井真;东原周平;森勇介;北冈康夫;三好直哉 | 申请（专利权）人： | 日本碍子株式会社;森勇介;北冈康夫;三好直哉 |
| 主分类号： | C30B29/38 | 分类号： | C30B29/38;C30B9/12 |
| 代理公司： | 上海市华诚律师事务所 31210 | 代理人： | 徐申民;李晓 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 通过将III族金属氮化物单晶的原料以及助熔剂原料收容于坩埚内，再将该坩埚收容于反应容器(1)内，将反应容器(1)收容于外侧容器内，再将外侧容器收容于耐压容器内，向外侧容器内供给含氮氛围的同时，于坩埚内生成熔液来进行III族金属氮化物单晶的培养。反应容器(1)具备收容坩埚的本体(3)和放置于本体(3)上的盖(2)。本体(3)具备侧壁(3b)和底壁(3a)，该侧壁(3b)具有啮合面(3d)和开口于啮合面(3d)上的槽(3c)。盖(2)具备相对本体(3)的啮合面有接触面(2d)的上板部(2a)，以及从上板部(2a)延伸出来，包围侧壁(3b)的外侧的凸缘部(2b)。 | ||
| 搜索关键词： | iii 金属 氮化物 培养 方法 以及 用于 反应 容器 | ||
【主权项】：
一种培养III族金属氮化物单晶的方法，包括将III族金属氮化物单晶的原料以及助熔剂原料收容于坩埚内，再将该坩埚收容于反应容器内，将该反应容器收容于外侧容器内，再将该外侧容器收容于耐压容器内，向所述外侧容器内供给含氮氛围的同时，使所述坩埚内生成熔液，其特征在于，所述反应容器具备收容所述坩埚的本体和放置于该本体上的盖，所述本体具备侧壁和底壁，该侧壁具有啮合面，且具有在啮合面上有开口的槽，所述盖具备相对所述啮合面有接触面的上板部，以及从上板部延伸出来，包围所述侧壁的外侧的凸缘部。
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