[发明专利]液体材料的涂布方法、其装置及其程序

摘要

本发明提供一种在不变更吐出装置的移动速度的情况下，能够修正吐出量的变化，并且能够使涂布形状稳定的液体材料的填充方法、其装置及其程序。本发明的液体材料的填充方法对基板与工件的间隙中利用毛细管现象填充液体材料，包括：制成由连续的多个涂布区域所构成的涂布图案的工序；对各涂布区域，将以既定比率组合吐出脉冲数与暂停脉冲数的吐出周期进行多个分配的工序；以及在修正周期计测吐出量，并计算吐出量的修正量的工序。此外还包括：根据计算出的修正量，调整涂布图案中所含有的吐出脉冲与暂停脉冲数的工序；和/或针对至少与一涂布区域连续的其它涂布区域的长度，在不改变各涂布区域中每单位时间的吐出量的情况下，进行调整的工序。

主权项

一种液体材料的填充方法，对基板与在其上所载置的工件的间隙中，利用毛细管现象填充从吐出装置所吐出的液体材料，所述液体材料的填充方法的特征在于包括：制成由连续的多个涂布区域所构成的涂布图案的工序；对各涂布区域，将以既定比率组合吐出脉冲数与暂停脉冲数的吐出周期进行多个分配的吐出周期分配工序；以及在预设的修正周期，计测在修正周期时点从吐出装置的吐出量，并计算吐出量的修正量的修正量计算工序；此外，还包括吐出量修正工序，该吐出量修正工序是由下述工序构成：根据以所述修正量计算工序所计算出的修正量，调整所述涂布图案中所含有的吐出脉冲与暂停脉冲数的工序；和/或针对至少所述一涂布区域以及与该涂布区域连续的其它一或二涂布区域的长度，在不改变各涂布区域中每单位时间的吐出量的情况下，进行调整的工序。