[发明专利]带电粒子束装置以及图像显示方法

摘要

本发明提供一种带电粒子束装置，其具有带电粒子源、对从带电粒子源放出的一次带电粒子束(3)进行聚焦的物镜(12)、在试样上扫描一次带电粒子束(3)的扫描偏转器(11)、检测通过一次带电粒子束的扫描而从试样发生的信号粒子的检测器，使用检测器的信号粒子取得试样图像，所述带电粒子束装置的特征在于，具备：使一次带电粒子束向试样的照射角偏转的偏转器(10)；使电流流过偏转器的独立的第一以及第二电源(24、36)；以及以一次带电粒子束的扫描的一行单位或一帧单位切换从两个电源施加的电压的开关(34)。

主权项

一种带电粒子束装置，具有：带电粒子源、使从所述带电粒子源放出的一次带电粒子束进行聚焦的物镜、在试样上扫描所述一次带电粒子束的扫描偏转器、检测通过所述一次带电粒子束的扫描而从试样发生的信号粒子的检测器，所述带电粒子束装置使用所述检测器的信号粒子取得试样图像，其特征在于，具备：使所述一次带电粒子束向试样的照射角偏转的偏转器；使电流流过该偏转器的独立的第一以及第二电源；以及以所述一次带电粒子束的扫描的一行单位或一帧单位切换该两个电源的开关。