[发明专利]分光模块及其制造方法有效
申请号: | 201080036948.2 | 申请日: | 2010-08-11 |
公开(公告)号: | CN102472663A | 公开(公告)日: | 2012-05-23 |
发明(设计)人: | 柴山胜己;能野隆文 | 申请(专利权)人: | 浜松光子学株式会社 |
主分类号: | G01J3/18 | 分类号: | G01J3/18;G01J3/36;G02B5/10;G02B5/18;H01L31/10 |
代理公司: | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人: | 龙淳 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明的分光模块(1)中,边缘部(7)以比衍射层(6)厚的方式沿着衍射层(6)的周缘(6a)一体地形成。由此,使用母模形成衍射层(6)及边缘部(7)的情况的脱模时,可防止以沿着透镜部(3)的凸状曲面(3a)的方式形成的衍射层(6)维持于母模上而从曲面(3a)剥离。而且,以相对衍射层(6)的中心偏向规定侧的方式形成有衍射光栅图案(9)。由此,以相对于衍射层(6)的规定侧使其相反侧先进行的方式进行脱模,从而可防止衍射层(6)剥离、或衍射光栅图案(9)损坏。 | ||
搜索关键词: | 分光 模块 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
一种分光模块,其特征在于,具备:主体部,其使从一侧入射的光透射;分光部,其设于在所述主体部的另一侧形成的凸状的曲面上,将入射于所述主体部的光分光且向所述主体部的一侧反射;及光检测元件,其配置于所述主体部的一侧,检测由所述分光部分光后的光,所述分光部具有以沿着所述曲面的方式形成的衍射层、以比所述衍射层厚的方式沿着所述衍射层的周缘一体形成的边缘部、及形成于所述衍射层的另一侧的反射层;在所述衍射层上,以相对所述衍射层的中心偏向于规定侧的方式形成有衍射光栅图案。
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