[发明专利]弹性波元件与弹性波元件传感器无效
| 申请号： | 201080037249.X | 申请日： | 2010-08-30 |
| 公开（公告）号： | CN102484466A | 公开（公告）日： | 2012-05-30 |
| 发明（设计）人： | 后藤令;中西秀和;中村弘幸 | 申请（专利权）人： | 松下电器产业株式会社 |
| 主分类号： | H03H9/145 | 分类号： | H03H9/145;H01L41/08;H01L41/09;H01L41/18 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 汪惠民 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种弹性波元件及弹性波元件传感器。弹性波元件构成为具备：压电体；输入IDT电极；进行输出的输出IDT电极；传播路径，其设置于这些输入IDT电极与输出IDT电极之间；第一电介质层，其以覆盖输入IDT电极及输出IDT电极的方式设置在压电体上；和反应部，其设置在传播路径上、且与检测对象物质或耦合物质进行反应，其中所述耦合物质与检测对象物质耦合；主要弹性波在输入IDT电极及输出IDT电极成为在压电体与第一电介质层之间进行传播的弹性边界波，而在传播路径成为在传播路径的上表面进行传播的弹性表面波。根据该构成，可以抑制元件特性劣化。 | ||
| 搜索关键词： | 弹性 元件 传感器 | ||
【主权项】：
一种弹性波元件，其具备：压电体；输入IDT电极，其设置于所述压电体之上、且使主要弹性波激励；输出IDT电极，其设置于所述压电体之上、且接收所述主要弹性波并输出信号；传播路径，其设置于所述输入IDT电极与所述输出IDT电极之间；和第一电介质层，其以覆盖所述输入IDT电极及所述输出IDT电极的方式设置在所述压电体上；所述主要弹性波在所述输入IDT电极及所述输出IDT电极成为在所述压电体与所述第一电介质层之间进行传播的弹性边界波，而在所述传播路径成为在所述传播路径的上表面进行传播的弹性表面波。
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