[发明专利]处理基板的设备及方法无效
| 申请号： | 201080039551.9 | 申请日： | 2010-09-02 |
| 公开（公告）号： | CN102481776A | 公开（公告）日： | 2012-05-30 |
| 发明（设计）人： | 安德里亚·巴奇尼;乔治欧·塞勒里;卢奇·德萨缇;马科·加里亚左;詹佛朗哥·帕斯奎林;托马索·沃尔克斯 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | B41F15/08 | 分类号： | B41F15/08;B41F15/26;H01L31/18;H05K3/12 |
| 代理公司： | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 11258 | 代理人： | 柳春雷 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种用以处理基板(150)的设备，包含：支撑构件(131)，用以支撑该基板(150)；输入构件(111)，能够将该支撑构件(131)定位于第一位置(“1”、“3”)中；检测构件(200)，能够检测放置在位于该第一位置(“1”、“3”)中的该支撑构件(131)上的该基板(150)的位置及方向数据；至少一个第一处理头(102)，能够在第二位置(“2”、“4”)中进行第一处理；至少一个第二处理头(202)，能够在第三位置(“5”)中进行不同于该第一处理的第二处理；移动构件(140)，能够使该支撑构件(131)至少由该第一位置(“1”、“3”)移动至该第二位置(“2”、“4”)以及在该第二位置(“2”、“4”)及第三位置之间移动；该支撑构件(131)与该至少一个第二处理头(202)相互配置，以便在该第二处理过程中也将该基板(150)保持于相同的该支撑构件(131)上。 | ||
| 搜索关键词： | 处理 设备 方法 | ||
【主权项】：
一种用于处理基板(150)的设备，包含：支撑构件(131)，用以支撑所述基板(150)；输入构件(111)，能够将所述支撑构件(131)定位于第一位置(“1”、“3”)中；检测构件(200)，能够检测放置在位于所述第一位置(“1”、“3”)中的所述支撑构件(131)上的所述基板(150)的位置及方向数据；至少一个第一处理头(102)，能够在第二位置(“2”、“4”)中进行第一处理；至少一个第二处理头(202)，能够在第三位置(“5”)中进行不同于所述第一处理的第二处理；移动构件(140)，能够使所述支撑构件(131)至少由所述第一位置(“1”、“3”)移动至所述第二位置(“2”、“4”)以及在所述第二位置(“2”、“4”)和第三位置之间移动；所述支撑构件(131)与所述至少一个第二处理头(202)相互配置，以便在所述第二处理过程中也将所述基板(150)保持于相同的所述支撑构件(131)上。
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