[发明专利]化学气相沉积反应器

摘要

本发明涉及一种化学气相沉积反应器，该化学气相沉积反应器带有布置在反应器壳体内的可加热的主体(2，3)，带有与主体(2，3)间隔的、用于加热所述主体(2，3)的加热装置(4，17)，以及带有与主体(2，3)间隔的冷却装置(5，18)，该冷却装置这样布置，使得从加热装置(4，17)经由加热装置(4，17)和主体(2，3)之间的间隙向主体(2，3)传递热量并且从主体(2，3)经由主体(2，3)和冷却装置(5，18)之间的间隙向冷却装置(5，18)传递热量。为了可重现地局部影响被加热的工艺腔室壁的表面温度，本发明建议了在冷却/或加热装置(4，5，17，18)之间的间隙中布置调节体(6，19)。在热处理过程中和/或在时间上相继的处理步骤之间，这样地移动调节体(6，19)，使得局部影响热传输。

主权项

一种反应器，尤其是化学气相沉积反应器，该反应器带有布置在反应器壳体内的可加热的主体(2，3)，带有与主体(2，3)间隔的用于加热所述主体(2，3)的加热装置(4，17)，以及带有与主体(2，3)间隔的冷却装置(5，18)，该冷却装置这样布置，使得从加热装置(4，17)经由加热装置(4，17)和主体(2，3)之间的间隙向主体(2，3)传递热量并且从主体(2，3)经由主体(2，3)和冷却装置(5，18)之间的间隙向冷却装置(5，18)传递热量，其特征在于一个或多个可置于冷却/或加热装置(4，5，17，18)之间的间隙中的调节体(6，19)，用于局部影响热量输送。