[发明专利]碳化硅成形体的制造方法无效
| 申请号： | 201080044953.8 | 申请日： | 2010-10-07 |
| 公开（公告）号： | CN102548931A | 公开（公告）日： | 2012-07-04 |
| 发明（设计）人： | 青木 良隆 | 申请（专利权）人： | 信越化学工业株式会社 |
| 主分类号： | C04B35/571 | 分类号： | C04B35/571;C04B35/573;H01L21/22 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 章蕾 |
| 地址： | 日本国東京都千*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种碳化硅成形体的制造方法。该方法中，将含有碳化硅粉末或者碳化硅粉末与碳粉末的组合的硬化性硅酮组合物成形为所需的形状，使所得的成形体硬化，并在非氧化性环境下对所得的硅酮硬化成形体进行加热分解。本发明可以简便地制造高纯度且具有所需的形状、尺寸的碳化硅成形体。 | ||
| 搜索关键词： | 碳化硅 成形 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种碳化硅成形体的制造方法，其特征在于包含以下工序：将含有碳化硅粉末、或者碳化硅粉末与碳粉末的组合的硬化性硅酮组合物成形为所需的形状，使其硬化而获得具有所需的形状的硅酮硬化成形体；以及然后，在非氧化性环境下对该硅酮硬化成形体进行加热分解。
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