[发明专利]放射线敏感性树脂组合物以及层间绝缘膜的形成方法有效
| 申请号： | 201080046633.6 | 申请日： | 2010-10-14 |
| 公开（公告）号： | CN102549496A | 公开（公告）日： | 2012-07-04 |
| 发明（设计）人： | 菊池克浩;臼井健太朗;柴崎正和;越智贵志;加藤龙郎;滨田谦一;荒井雅史;M.村田;高濑英明 | 申请（专利权）人： | 夏普株式会社;JSR株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;G03F7/023 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 孙秀武;高旭轶 |
| 地址： | 日本大阪*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明涉及含有[A]碱可溶性树脂、[B]1,2-醌二叠氮化合物以及[C]自由基捕获剂的放射线敏感性树脂组合物。上述放射线敏感性树脂组合物可充分满足透光率高等的作为层间绝缘膜通常所要求的各性能，且可以以高分辨率提供层间绝缘膜，同时保存稳定性也优异，其中随着为提高制品的成品率而采取的工艺的效率化，该层间绝缘膜的耐热尺寸稳定性、耐热变色性、与基板的密合性等优异。 | ||
| 搜索关键词： | 放射线 敏感性 树脂 组合 以及 绝缘 形成 方法 | ||
【主权项】：
放射线敏感性树脂组合物，其特征在于，含有[A]碱可溶性树脂、[B]1,2‑醌二叠氮化合物以及[C]自由基捕获剂。
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