[发明专利]太阳能电池模块的制造方法及太阳能电池模块的制造装置有效

专利信息
申请号: 201080050150.3 申请日: 2010-08-30
公开(公告)号: CN102598293A 公开(公告)日: 2012-07-18
发明(设计)人: 山本良明;池田均;大西芳纪;玉川孝一 申请(专利权)人: 株式会社爱发科
主分类号: H01L31/04 分类号: H01L31/04;B23K26/00;B23K26/36
代理公司: 北京派特恩知识产权代理事务所(普通合伙) 11270 代理人: 蒋雅洁;孟桂超
地址: 日本神*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 发明提供一种可以防止分流及裂纹的产生的、包括激光除边工序的太阳能电池制造方法及用于该方法的制造装置。通过从透明基板(2)侧向层叠体(1)照射第一激光(L1),除去第一激光(L1)所照射的第一区域(A1)内的光电转换层(4)及里侧电极层(5),其中,层叠体(1)包括在透明基板(2)上顺次形成的透明电极层(3)、光电转换层(4)及里侧电极层(5);并且,通过在区域(A1)内以与区域(A1)分离的方式照射具有与第一激光(L1)不同的特性的第二激光(L2),除去第二激光(L2)所照射的包含在第一区域(A1)内的第二区域(A2)上的透明电极层(3)。
搜索关键词: 太阳能电池 模块 制造 方法 装置
【主权项】:
一种太阳能电池模块的制造方法,其特征在于:通过从透明基板侧向层叠体照射第一激光,除去所述第一激光所照射的第一区域内的光电转换层及里侧电极层,其中所述层叠体包括所述透明基板以及在所述透明基板上顺次形成的透明电极层、所述光电转换层及所述里侧电极层,并且,通过在所述第一区域内,以与所述第一区域的周边分离的方式照射具有与所述第一激光不同的特性的第二激光,除去所述第二激光所照射的第二区域内的所述透明电极层。
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