[发明专利]乳胶掩膜用电离辐射线固化型保护液及使用其的乳胶掩膜有效
| 申请号： | 201080063279.8 | 申请日： | 2010-02-08 |
| 公开（公告）号： | CN102754025A | 公开（公告）日： | 2012-10-24 |
| 发明（设计）人： | 根岸朋子;长谷川刚 | 申请（专利权）人： | 木本股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F1/48 | 分类号： | G03F1/48 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 蒋亭 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种可在短时间内形成保护膜，形成保护膜的乳胶掩膜的粘接性与表面硬度优异的乳胶掩膜用保护液及使用其的乳胶掩膜。乳胶掩膜用电离辐射线性固化型保护液含有(甲基)丙烯酸酯低聚物和/或(甲基)丙烯酸系单体，及可与前述所述低聚物和/或单体共聚的反应性亲水性物质。而且反应性亲水性物质为(甲基)丙烯酸改性的亲水性物质，尤其是(甲基)丙烯酸改性的磷酸酯和/或(甲基)丙烯酸改性的季铵盐。 | ||
| 搜索关键词： | 乳胶 用电 辐射 固化 保护 使用 | ||
【主权项】：
一种乳胶掩膜用电离辐射线固化型保护液，其特征在于，其是用于在乳胶掩膜上形成保护膜的乳胶掩膜用电离辐射线固化型保护液，其具有如下成分，即包含(甲基)丙烯酸酯低聚物及(甲基)丙烯酸系单体中的至少任一种的第一成分，以及包含可与所述第一成分共聚的反应性亲水性物质的第二成分。
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G03F1-20 .用于通过带电粒子束(CPB)辐照成像的掩膜或空白掩膜，例如通过电子束；其制备
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