[发明专利]连续涂布设备有效
| 申请号： | 201080070535.6 | 申请日： | 2010-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN103249860A | 公开（公告）日： | 2013-08-14 |
| 发明（设计）人： | 南庆勋;郭荣镇;李东烈;金兑烨;郑勇华;金庆保;郑宇城;严文钟;李相澈;朴相勋 | 申请（专利权）人： | POSCO公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京北翔知识产权代理有限公司 11285 | 代理人： | 杨勇;郑建晖 |
| 地址： | 韩国庆尚*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明涉及一种连续涂布设备，该设备能通过多种路径向悬浮加热空间提供液态涂布材料（熔化金属），还能容易控制液态涂布材料的供给流量，并具有简化的结构。本发明的连续涂布设备包括：一个真空室单元，一个涂布目标穿过该真空室单元；一个悬浮加热单元，布置在所述真空室单元中且通过气化供给的涂布材料产生蒸发蒸气；以及一个液态涂布材料供给单元，该液态涂布材料供给单元被连接以使得液态涂布材料被供给至所述悬浮加热单元的上部和下部中的至少一个，该液态涂布材料供给单元与所述真空室单元的外部连通。 | ||
| 搜索关键词： | 连续 布设 | ||
【主权项】：
一种连续涂布设备，包括：一个真空室单元，一个涂布目标穿过该真空室单元；一个悬浮加热单元，布置在所述真空室单元中且通过将供给的涂布材料气化来产生蒸发蒸气；以及一个液态涂布材料供给单元，该液态涂布材料供给单元被连接以使得液态涂布材料被供给至所述悬浮加热单元的上部和下部中的至少一个，并且该液态涂布材料供给单元与所述真空室单元的外部连通。
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