[发明专利]正型光敏组合物无效
申请号: | 201110004262.1 | 申请日: | 2011-01-11 |
公开(公告)号: | CN102141732A | 公开(公告)日: | 2011-08-03 |
发明(设计)人: | 姜锡灿;李进翰 | 申请(专利权)人: | 韩国锦湖石油化学株式会社 |
主分类号: | G03F7/039 | 分类号: | G03F7/039;G03F7/00;H01L21/027 |
代理公司: | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人: | 李中奎;黄志华 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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摘要: | 本申请公开了一种正型光敏组合物,基于100重量份的聚酰胺衍生物,所述光敏树脂组合物包含0.1到20重量份的多面体低聚硅倍半氧烷衍生物,和5到30重量份的光致生成酸化合物。 | ||
搜索关键词: | 光敏 组合 | ||
【主权项】:
一种光敏树脂组合物,基于100重量份的聚酰胺衍生物,该光敏树脂组合物包含0.1到20重量份的多面体低聚硅倍半氧烷衍生物,和5到30重量份的光致生成酸化合物。
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