[发明专利]具有自识别功能的晶圆罩和晶圆装卸台组件

摘要

一种具有自识别功能的晶圆罩和晶圆装卸台组件，包括第一组件和第二组件，所述第一组件包括第一晶圆罩和第一晶圆装卸台；所述第二组件包括第二晶圆罩和第二晶圆装卸台。其中，所述第一晶圆装卸台上设置第一识别针，所述第一晶圆罩的底部设置第一识别孔；所述第二晶圆装卸台上设置第二识别针，所述第二晶圆罩底部设置第二识别孔，第二识别针相对于所述第二晶圆装卸台所处的空间位置与第一识别针相对于所述第一晶圆装卸台所处的空间位置不同。本发明通过在不同位置设置第一识别孔和第一识别针，以及第二识别孔和第二识别针，以实现晶圆罩在晶圆装卸台上的准确载入，进而避免晶圆发生金属污染，刮伤等危害。同时，节省工程原料，并保证器件良率。

主权项

一种具有自识别功能的晶圆罩和晶圆装卸台组件，包括第一组件和第二组件，所述第一组件包括：第一晶圆罩，用以容置第一晶圆盒，所述第一晶圆罩具有第一容器门和设置在所述容器门上的第一容器盖；第一晶圆装卸台，用以装载所述第一晶圆罩；所述第二组件包括：第二晶圆罩，用以容置第二晶圆盒，所述第二晶圆罩具有第二容器门和设置在所述第二容器门上的第二容器盖；第二晶圆装卸台，用以装载所述第二晶圆罩；其特征在于，所述第一晶圆装卸台上设置第一识别针，所述第一晶圆罩的第一容器门底部设置与所述第一识别针对应的第一识别孔；所述第二晶圆装卸台上设置第二识别针，所述第二晶圆罩的第二容器门底部设置与所述第二识别针对应的第二识别孔，且设置在所述第二晶圆装卸台上的第二识别针相对于所述第二晶圆装卸台所处的空间位置与设置在所述第一晶圆装卸台上的第一识别针相对于所述第一晶圆装卸台所处的空间位置不同。