[发明专利]基板输送装置及基板输送方法

摘要

本发明提供基板输送装置及基板输送方法，在以张的形式1张1张地水平输送被处理基板的基板处理装置中缩短了从基板搬入到输送开始的生产节拍时间并提高了生产率。该基板输送装置具有：悬浮用载物台，其使被处理基板悬浮；一对导轨，其平行配置在悬浮用载物台的左右侧方；多个基板载持件，其能分别沿着一对导轨移动，能从下方吸附保持基板的边缘部；对准部件，其相对于被搬入到悬浮用载物台的基板搬入位置的基板从待机位置到规定位置自由进退，与基板接触而将该基板配置在规定位置；基板支承部件，其在悬浮用载物台的基板搬入位置处从该基板的下方支承被对准部件配置在规定位置的基板；控制部，其控制基板载持件、对准部件及基板支承部件的动作。

主权项

一种基板输送装置，其以张的形式1张1张地水平输送基板，其特征在于，该基板输送装置具有：悬浮用载物台，其利用气体的喷射使上述基板悬浮；导轨，其配置在上述悬浮用载物台的侧方；基板载持件，其设置为能沿着上述导轨移动，能够从下方吸附保持上述基板的边缘部；对准部件，其设置为相对于被搬运到上述悬浮用载物台的基板搬入位置的上述基板从待机位置到规定位置自由进退，与上述基板接触而将该基板配置在规定位置；基板支承部件，其在上述悬浮用载物台的基板搬入位置处从该基板的下方支承被上述对准部件配置在规定位置的上述基板；控制部，其用于控制上述基板载持件、上述对准部件及上述基板支承部件的动作；上述控制部进行控制，使得在完成了基板输送的上述基板载持件返回到上述悬浮用载物台的基板搬入位置的期间内，上述对准部件进行将上述基板配置在规定位置的对位，而且上述基板支承部件从下方支承被对位后的上述基板，并且上述对准部件返回到与上述基板载持件不相干涉的待机位置。