[发明专利]三维形状检查方法有效
| 申请号： | 201110035624.3 | 申请日： | 2011-02-01 |
| 公开（公告）号： | CN102192715A | 公开（公告）日： | 2011-09-21 |
| 发明（设计）人： | 郑仲基 | 申请（专利权）人： | 株式会社高永科技 |
| 主分类号： | G01B11/25 | 分类号： | G01B11/25 |
| 代理公司： | 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 | 代理人： | 韩明星;金光军 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明公开了一种三维形状检查方法。为了检查三维形状，选定形成于印刷电路板的基板上的预定的检查对象部件作为所述测量对象物，设定针对检查对象部件的检查区域之后，获得基于检查对象部件的高度信息的三维形状，检测检查对象部件的基准点，确认形成于检查对象部件的极性标记对基准点的相对位置信息之后，利用对基准点的相对位置信息和测量的检查对象部件的高度信息来检测极性标记的位置，将极性标记对基准点的相对位置信息与检测的极性标记的位置相比较来判断检查对象部件是否合格。由此，能够准确地掌握极性标记的位置，从而更加容易和准确地执行极性检查。 | ||
| 搜索关键词： | 三维 形状 检查 方法 | ||
【主权项】：
一种三维形状检查方法，将从照明装置产生的光照射到测量对象物来拍摄图像，利用所拍摄的所述图像获得基于所述测量对象物的高度信息的三维形状，从而检查所述测量对象物是否合格，包括：选定形成于基板的预定的检查对象部件作为所述测量对象物的步骤；获得所述检查对象部件的形状的步骤；检测所述检查对象部件的基准点的步骤；确认形成于所述检查对象部件的极性标记对所述基准点的相对位置信息的步骤；利用对所述基准点的相对位置信息来确认所述极性标记是否存在，从而判断所述检查对象部件是否合格的步骤。
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