[发明专利]晶圆加工用胶带无效
| 申请号： | 201110036207.0 | 申请日： | 2011-02-11 |
| 公开（公告）号： | CN102373016A | 公开（公告）日： | 2012-03-14 |
| 发明（设计）人： | 三原尚明;建部一贵;矢吹朗;井之前千佳子 | 申请（专利权）人： | 古河电气工业株式会社 |
| 主分类号： | C09J7/02 | 分类号： | C09J7/02;H01L21/68;H01L21/58 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 李辉;黄纶伟 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种晶圆加工用胶带。本发明的课题是在将剥离膜从晶圆加工用胶带剥离时，抑制接合剂层从粘接带剥离。作为解决手段，在该晶圆加工用胶带中，剥离膜(2)沿长度方向被卷绕成卷筒状，在平面视中，接合剂层(3)具有主要部(3a)和与主要部(3a)连接的至少一个突出部(3b)，突出部(3b)中的至少一个的突出长度d为4mm以上，突出部(3b)的末端角度θ为80°以上且不足120°，突出部(3b)的末端的曲率半径r不足4mm，突出部(3b)的末端与粘接带(4)的外缘之间的距离l为5mm以上，突出部(3b)形成于接合剂层(3)中的剥离膜(2)的剥下方向的上游侧。 | ||
| 搜索关键词： | 晶圆加 工用 胶带 | ||
【主权项】：
一种晶圆加工用胶带，其具有：剥离膜；设置在所述剥离膜上的接合剂层；粘接带，其被设置成：从上方覆盖所述接合剂层，外缘在所述接合剂层的外侧与所述剥离膜接触，该晶圆加工用胶带的特征在于，所述剥离膜沿长度方向被卷绕成卷筒状，在平面视中，所述接合剂层具有主要部、和与所述主要部连接的至少一个突出部，所述突出部中的至少一个的突出长度为4mm以上，所述突出部的末端角度为80°以上且不足120°，所述突出部的末端的曲率半径不足4mm，所述突出部的末端与所述粘接带的外缘之间的距离为5mm以上，所述突出部形成于所述接合剂层中的所述剥离膜的剥下方向的上游侧。
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