[发明专利]压电振动器及使用该压电振动器的振荡器无效
申请号: | 201110037787.5 | 申请日: | 2011-01-31 |
公开(公告)号: | CN102148612A | 公开(公告)日: | 2011-08-10 |
发明(设计)人: | 田家良久;吉田宜史 | 申请(专利权)人: | 精工电子有限公司 |
主分类号: | H03H9/02 | 分类号: | H03H9/02;H03H9/15 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人: | 何欣亭;王忠忠 |
地址: | 日本千叶*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 压电振动器及使用该压电振动器的振荡器。在基底基板(2)形成的第一贯通电极(10a)与安装部(9)之间形成第一迂回电极(5a),在基底基板(2)与盖基板(3)接合的接合面形成由接合部件(13)构成的导体膜,将第一迂回电极(5a)和导体膜,在安装部(9)附近通过第一连接部(7a)、而在第一贯通电极(10a)附近通过第二连接部(7b)分别电连接,从而降低第一迂回电极(5a)的电阻。由此,在基底基板(2)表面设置的安装部(9)以悬臂状态安装压电振动片(4),用盖基板(3)以覆盖地收纳压电振动片(4),在这种压电振动器(1)中,减小对压电振动片(4)提供驱动电力的迂回电极(5)的电阻而防止振动性能降低。 | ||
搜索关键词: | 压电 振动器 使用 振荡器 | ||
【主权项】:
一种压电振动器,其中包括:基底基板;形成在所述基底基板的表面的在安装部中以悬臂状态被保持的压电振动片;以及接合至所述基底基板并且以覆盖地收纳所述压电振动片的盖基板,其中,所述压电振动片在其外表面具有驱动用的第一及第二激振电极,所述基底基板包括从其表面贯通到相反侧的背面的第一及第二贯通电极、形成在所述表面并且一端与所述第一贯通电极连接而另一端与所述安装部连接的第一迂回电极、以及与所述第一迂回电极电连接并且位于所述安装部附近的第一连接部和位于所述第一贯通电极附近的第二连接部,在所述基底基板和所述盖基板接合的接合面形成有导体膜,所述第一迂回电极和所述导体膜在所述第一及第二连接部中电连接,所述第一激振电极经由所述安装部和所述第一迂回电极及所述导体膜而与所述第一贯通电极电连接,所述第二激振电极经由所述安装部而与所述第二贯通电极电连接。
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