[发明专利]盐以及含有该盐的光致抗蚀剂组合物无效
| 申请号： | 201110038553.2 | 申请日： | 2011-02-14 |
| 公开（公告）号： | CN102167676A | 公开（公告）日： | 2011-08-31 |
| 发明（设计）人： | 市川幸司;坂本宏 | 申请（专利权）人： | 住友化学株式会社 |
| 主分类号： | C07C381/12 | 分类号： | C07C381/12;C07C309/17;C07C25/18;C07D333/46;C08F212/14;C08F220/38;G03F7/004;G03F7/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 柳春琦 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： |
本发明提供一种由式(I)表示的盐，其中R1和R2各自独立地表示氟原子或C1-C6全氟烷基，X1表示C1-C17二价饱和烃基，在所述C1-C17二价饱和烃基中的一个或多个-CH2-可以被-O-或-CO-代替，并且所述C1-C17二价饱和烃基可以具有一个或多个氟原子，R3表示氢原子或甲基，并且Z1+表示有机抗衡阳离子；以及提供一种含有该盐的光致抗蚀剂组合物。 |
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| 搜索关键词： | 以及 含有 光致抗蚀剂 组合 | ||
【主权项】：
1.一种由式(I)表示的盐：![]()
其中R1和R2各自独立地表示氟原子或C1-C6全氟烷基，X1表示C1-C17二价饱和烃基，在所述C1-C17二价饱和烃基中的一个或多个-CH2-可以被-O-或-CO-代替，并且所述C1-C17二价饱和烃基可以具有一个或多个氟原子，R3表示氢原子或甲基，并且Z1+表示有机抗衡阳离子。
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