[发明专利]磁头检查方法以及磁头制造方法

摘要

本发明是关于磁头检查方法以及磁头制造方法，可大幅度地缩短原子力显微镜的检查时间，使检查用探针的高度保持固定，从而借由磁力显微镜、扫描型霍尔探针显微镜或扫描型磁阻效应显微镜来正确且高速地进行检查。为了计算出离开与磁头的悬浮高度相当的距离的位置，使用原子力显微镜来分别对相当于X轴、Y轴的一行的区域的表面形状进行扫描，借此来计算出该表面形状的斜度等，且基于该计算结果，决定利用磁力显微镜来对有效轨道宽度进行测定时的磁头的悬浮高度。即，将磁力显微镜的悬臂单元的磁性探针的扫描测定区域的一半以下的小区域，设为使用原子力显微镜来扫描的磁头的记录部表面的扫描测定区域，从而可大幅度地缩短原子力显微镜的检查时间。

主权项

一种磁头检查方法，使用原子力显微镜来对从晶圆切割出的横条状态的磁头的记录部表面的形状进行扫描测定，基于该测定结果，在将磁力显微镜的悬臂单元的磁性探针保持在与所述磁头的记录部表面相距与磁头相对于磁盘的悬浮高度相当的距离的位置的状态下，使所述磁性探针沿着所述磁头的记录头部的表面扫描移动，对表示所述悬臂单元的激振状态的信号进行检测，并基于该信号来对所述磁头的有效轨道宽度进行测定，该磁头检查方法的特征在于：将比所述磁力显微镜的所述悬臂单元的磁性探针的扫描测定区域的一半更小的区域，设为使用所述原子力显微镜来扫描的所述磁头的记录部表面的扫描测定区域。