[发明专利]狭缝喷嘴清扫装置以及涂覆装置有效
| 申请号： | 201110041215.4 | 申请日： | 2011-02-17 |
| 公开（公告）号： | CN102161027A | 公开（公告）日： | 2011-08-24 |
| 发明（设计）人： | 元田公男;宫崎文宏;太田义治;川内拓男 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | B05B15/02 | 分类号： | B05B15/02;B05C5/02 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;张会华 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种在抑制颗粒的产生的同时、自动且有效率地清扫狭缝喷嘴的狭缝内部的狭缝喷嘴清扫装置以及涂覆装置。狭缝喷嘴清扫装置(70)包括：喷嘴清扫单元(56)、用于使整个启动加注处理部在基板输送方向(X方向)上移动的X方向移动部(54)以及用于在壳体(44)中使喷嘴清扫单元在喷嘴长度方向(Y方向)移动的Y方向移动部(60)。喷嘴清扫单元(56)包括：能够自外部向狭缝喷嘴(32)的狭缝(32a)内插入或者从狭缝(32a)内拔出的薄板状的刮板(74)、用于保持该刮板的保持部(76)、用于使刮板与保持部(76)一体地在狭缝喷嘴的喷出方向上移动的升降机构(78)以及用于使刮板旋转的旋转机构(82)。 | ||
| 搜索关键词： | 狭缝 喷嘴 清扫 装置 以及 | ||
【主权项】：
一种狭缝喷嘴清扫装置，其用于对在涂覆处理中所采用的长条型狭缝喷嘴的狭缝内部进行清扫，其中，包括：薄板状的刮出构件，其能够自外部向上述狭缝喷嘴的狭缝内插入或从上述狭缝喷嘴的狭缝内拔出；清扫机构，其用于保持上述刮出构件，将上述刮出构件插入到上述狭缝喷嘴的狭缝内，使上述刮出构件沿规定的方向移动，以便在上述狭缝内刮出固化物，然后自上述狭缝将上述刮出构件拔出。
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