[发明专利]涂敷装置

摘要

本发明提供一种能够将装置的制造成本维持得低并且能够正确地涂敷涂敷液和检测异物的涂敷装置。该涂敷装置具有在基板(100)上涂敷涂敷液的涂敷喷嘴(21)、对存在于基板(100)的表面上的异物进行检测的异物检测机构、浮起工作台(14)、异物检测工作台(12)、涂敷工作台(11)、浮起工作台(15)、从形成在异物检测工作台(12)上的排气口进行排气的第一排气装置、从形成在涂敷工作台(11)上的排气口进行排气的第二排气装置。

主权项

一种涂敷装置，在通过向基板的下表面供给气体而使基板浮起的状态下，使基板向一个方向移动，并在基板的表面上涂敷涂敷液，其特征在于，该涂敷装置具有：涂敷喷嘴，其在向一个方向移动的基板的表面上涂敷涂敷液，异物检测机构，其相对于所述涂敷喷嘴而配置在基板的搬运方向上的上游侧，来对存在于基板的表面上的异物进行检测，一对浮起工作台，其形成有向所述一对浮起工作台与基板间的区域喷出气体的喷出口，精密浮起工作台，其配置在所述一对浮起工作台之间，并形成有向所述精密浮起工作台与基板间的区域喷出气体的喷出口和从所述精密浮起工作台与基板间的区域排出气体的排气口，第一排气装置，其用于从所述精密浮起工作台中的位于基板的搬运方向上的上游侧的排气口排出气体，第二排气装置，其用于从所述精密浮起工作台中的相对于通过所述第一排气装置进行排气的排气口而位于所述基板的搬运方向上的下游侧的排气口排出气体。