[发明专利]样本图像获取装置、获取方法以及获取程序无效
申请号: | 201110043722.1 | 申请日: | 2011-02-23 |
公开(公告)号: | CN102193181A | 公开(公告)日: | 2011-09-21 |
发明(设计)人: | 木岛公一朗 | 申请(专利权)人: | 索尼公司 |
主分类号: | G02B21/36 | 分类号: | G02B21/36;G02B21/32 |
代理公司: | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人: | 余刚;吴孟秋 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明涉及样本图像获取装置、获取方法以及获取程序。样本图像获取装置,包括:摄像装置;移动控制部;以及样本图像获取部。 | ||
搜索关键词: | 样本 图像 获取 装置 方法 以及 程序 | ||
【主权项】:
一种样本图像获取装置,包括:摄像装置,样本的图像在通过物镜放大之后被生成在所述摄像装置上;移动控制部,被配置为在包括所述样本的范围内在光轴方向上移动所述物镜的焦点的同时,在随所述焦点在所述光轴方向上的各位置而改变的平面方向上移动相对位置,其中,所述相对位置作为所述样本的所述图像和用来生成所述样本的所述图像的所述摄像装置之间的位置关系而在垂直于所述光轴方向的所述平面方向上是可移动的,所述样本的所述图像在被具有在所述范围内可移动的焦点的所述物镜放大之后被生成在所述摄像装置上;以及样本图像获取部,被配置为在所述移动控制部移动所述相对位置和所述焦点的同时,通过使所述摄像装置对所述样本曝光来获取样本图像。
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