[发明专利]温度控制系统

摘要

在行/列方向上经由开关元件配置多个加热器而实现了布线的简化的温度控制系统中，缓解任意加热器中的来自其他加热器的漏电流的影响。将以多行/多列配置在加热板(7)上的多个加热器(8i、j)按每一行、每一列公共连接到布线(9i、10j)。将每行的布线(9i)分别经由开关元件(4i)公共连接到交流电源(6)的一极侧。将每列的布线(10j)分别经由开关元件(5j)连接到交流电源(6)的另一极侧。通过最适合周期控制对目标加热器(8i、j)输出触发脉冲输出(触发指令)。在更新目标加热器(8i、j)的最适合周期控制中的输出误差累积(∑i、j(n))时，从输出误差累积(∑i、j(n))减去干扰操作量(MVIi、j(n))。

主权项

一种温度控制系统，包括：多个加热器，以多行/多列配置在控制对象上，按每一行、每一列连接到公共的布线，并且将每行的布线分别经由响应于加热器触发指令的元件而公共连接到电源一极侧，此外将每列的布线分别经由响应于加热器触发指令的元件而连接到电源另一极侧；以及控制器，基于用于所述控制对象的温度控制而输入的操作量，对所述多个加热器进行驱动控制，所述温度控制系统的特征在于，所述控制器包括：输出误差累积单元，对各加热器，在所述电源的至少每半个周期，根据所述操作量输入、和用于基于该操作量输入对加热器的驱动进行许可而预先设定的阈值，计算输出误差，并且对算出的输出误差进行累积；判定单元，判定所述累积输出误差是否为所述阈值以上；以及输出控制单元，基于所述判定单元的判定结果将加热器触发指令输出到对应的元件，所述输出误差累积单元在更新输出误差累积时，从所述更新值减去经由所述加热器的布线各加热器从其他的加热器中流动的电流受到的干扰操作量。