[发明专利]等离子清洁装置及等离子清洁方法

摘要

一种等离子清洁装置，包括壳体、多个正极板、多个负极板、正极电源、负极电源、多个固定件、进气管道及排气管道。壳体围合形成一个反应室。多个正极板与多个负极板间隔排列并将反应室分隔成多个反应空间。多个固定件均固定于外壳且分别位于一个反应空间中。进气管道包括进气总管及多个进气分管，进气总管自壳体外延伸入壳体内。每个反应空间内均设置有至少一个靠近正极板的进气分管。该排气管道包括排气总管及多个排气分管。该排气总管自壳体外延伸入壳体内，每个反应空间内均设置有至少一个靠近负极板的排气分管。每个排气分管均开设有多个排气孔。本发明还提供一种使用上述等离子清洁装置的等离子清洁方法。

主权项

一种等离子清洁装置，包括壳体、多个正极板、多个负极板、正极电源、负极电源、多个固定件、进气管道以及排气管道，该壳体围合形成一个反应室，该多个正极板与多个负极板间隔排列在该反应室内并将该反应室分隔成多个反应空间，每个反应空间均由相邻的一个正极板和一个负极板构成，该正极电源设置在该反应室外且与该多个正极板电连接，该负极电源设置在该反应室外且与该多个负极板电连接，该多个固定件用于固定多个工件，每个固定件均固定于外壳且位于一个反应空间中，该进气管道包括进气总管及与该进气总管相连通的多个进气分管，该进气总管自壳体外延伸入壳体内，用于向多个进气分管输入气体，每个反应空间内均设置有至少一个进气分管，该至少一个进气分管靠近正极板，每个进气分管均安装有多个进气喷嘴，该排气管道包括排气总管及与该排气总管相连通的多个排气分管，该排气总管自壳体外延伸入壳体内，每个反应空间内均设置有至少一个排气分管，该至少一个排气分管靠近负极板，每个排气分管均开设有多个排气孔。