[发明专利]用于测量干涉仪热漂移系数的温控箱、测量系统和方法无效
| 申请号： | 201110053279.6 | 申请日： | 2011-03-07 |
| 公开（公告）号： | CN102679865A | 公开（公告）日： | 2012-09-19 |
| 发明（设计）人： | 王珍媛;张志平;吴萍;张晓文;池峰 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G01B9/02 | 分类号： | G01B9/02 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种用于测量干涉仪热漂移系数的温控箱、干涉仪热漂移系数的测量系统和干涉仪热漂移系数的测量方法，所述用于测量干涉仪热漂移系数的温控箱，包括：箱体、加热装置、用于承载干涉仪的微晶玻璃和测量反射镜，所述箱体上设置有视窗，所述加热装置、微晶玻璃和测量反射镜置于所述箱体内，所述微晶玻璃靠近所述视窗，所述干涉仪置于所述微晶玻璃的靠近所述视窗的一端，所述测量反射镜置于所述微晶玻璃上并且与所述干涉仪出光面贴合。达到了精确、方便地得到干涉仪热漂移系数η的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 测量 干涉仪 漂移 系数 温控 系统 方法 | ||
【主权项】：
一种用于测量干涉仪热漂移系数的温控箱，其特征在于，包括：箱体、加热装置、用于承载干涉仪的微晶玻璃和测量反射镜，所述箱体上设置有视窗，所述加热装置、微晶玻璃和测量反射镜置于所述箱体内，所述微晶玻璃靠近所述视窗，所述干涉仪置于所述微晶玻璃的靠近所述视窗的一端，所述测量反射镜置于所述微晶玻璃上并且与所述干涉仪出光面贴合。
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