[发明专利]用于封装一衬底的方法及装置无效
| 申请号： | 201110053331.8 | 申请日： | 2005-09-12 |
| 公开（公告）号： | CN102141679A | 公开（公告）日： | 2011-08-03 |
| 发明（设计）人： | 洛朗·帕尔玛蒂尔;威廉·J·卡明斯;布莱恩·J·加利;马克·W·迈尔斯;杰弗里·B·桑普塞尔;克拉伦斯·徐;马尼什·科塔里 | 申请（专利权）人： | 高通MEMS科技公司 |
| 主分类号： | G02B26/00 | 分类号： | G02B26/00;B81C1/00 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 沈锦华 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明涉及用于封装一衬底的方法及装置。本发明揭示一种用于一干涉式调制器的封装结构及封装方法。在一干涉式调制器及透明衬底上沉积一薄膜材料来囊封所述干涉式调制器。该干涉式调制器与该薄膜之间的一间隙或空腔提供一使得该干涉式调制器的机械部件可在其中移动的空间。该间隙是通过移除一沉积于该干涉式调制器上的牺牲层来形成。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 封装 衬底 方法 装置 | ||
【主权项】：
一种显示装置，其包括经配置用于干涉调制光的可移动镜阵列，所述显示装置包括：一透明衬底；一干涉式调制器，其包括所述可移动镜阵列，且其中所述干涉式调制器经配置以对透射穿过所述透明衬底的光进行调制；及一沉积的不需依靠支撑物的薄膜背板，其将所述可移动镜阵列密封在所述透明衬底与所述沉积的不需依靠支撑物的薄膜背板之间的一封装内，且其中在所述可移动镜的整个阵列与所述沉积的不需依靠支撑物的薄膜背板之间存在一间隙。
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