[发明专利]电子显微镜的聚光镜用可动光阑装置

摘要

本发明公开一种电子显微镜的聚光镜用可动光阑装置，属电子显微镜领域。该装置中，光阑架上设有定位槽和压片，光阑片通过压片压设在定位槽内；光阑片上排列设有四个孔径不同的通孔作为光阑孔；光阑架设在光阑孔调节装置的光阑轴前端，能通过光阑孔调节装置上设置的调节手柄、尾盖螺帽和微调装置，调节光阑轴对光阑片上的光阑孔进行选择及空间三个方向上的精密调整，使光阑孔的中心处于电子束轴线上。该装置结构简单，方便选择并定位不同孔径通孔作为光阑孔，从而获得不同的照明孔径角，使第二聚光镜实现针对不同的样品可提供不同的照明孔径角。

主权项

一种电子显微镜的聚光镜用可动光阑装置，其特征在于，包括：光阑架、光阑片、压片和光阑孔调节装置；所述光阑架上设有定位槽和压片，所述光阑片设置在所述定位槽内，并通过所述压片压住；所述光阑片上排列设有四个孔径不同的通孔作为光阑孔；所述光阑孔调节装置设有光阑轴，所述光阑架设置在所述光阑轴前端，能通过所述光阑孔调节装置调节所述光阑轴对所述光阑架上的光阑片的光阑孔进行选择及空间三个方向上的微调定位；所述光阑孔调节装置还设有调节手柄、尾盖螺帽和微调装置，所述光阑轴后端设置有所述调节手柄，能在所述调节手柄的控制下前伸或后缩至不同档位；所述尾盖螺帽位于所述光阑孔调节装置的后部，经拉杆与所述光阑轴后端连接，能控制所述光阑轴来调整所述光阑架上光阑片的前后位置；所述光阑轴与所述微调装置相对应，在所述微调装置的控制下，通过调整所述光阑轴对所述光阑架上的光阑片进行水平和竖直方向的位置调整，使所述光阑架上光阑片的光阑孔的中心处于电子束的轴线上。