[发明专利]衬底转移容器、气体净化监视工具及具有其的半导体制造设备有效
| 申请号： | 201110064115.3 | 申请日： | 2011-03-15 |
| 公开（公告）号： | CN102194730A | 公开（公告）日： | 2011-09-21 |
| 发明（设计）人： | 罗秉国;尹泰植;李建衡;金贤俊;金赫基;金起斗 | 申请（专利权）人： | 三星电子株式会社 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677;H01L21/67;H01L21/00;H01L21/66 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 李佳;穆德骏 |
| 地址： | 韩国京畿道水*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明提供一种衬底转移容器、气体净化监视工具及具有其的半导体制造设备。该衬底转移容器，包括壳体，所述壳体包括在具有内部环境的气体腔内设置的多个衬底槽。每个衬底槽容纳经受衬底制造处理的衬底，该气体腔的内部环境选择性与外部环境密封。壳体处的检测单元被构造和设置成检测气体腔的内部环境的环境属性，并响应地产生检测信号。壳体处的信号传送模块被构造成无线传送从检测单元接收的检测信号。 | ||
| 搜索关键词： | 衬底 转移 容器 气体 净化 监视 工具 具有 半导体 制造 设备 | ||
【主权项】：
一种衬底转移容器，包括：壳体，所述壳体包括多个衬底槽，每个衬底槽用于保持经受制造处理的衬底；门，所述门被构建和布置成：密封所述壳体的内部环境；所述壳体处的检测单元，所述检测单元用于检测所述内部环境的环境属性；以及信号传送模块，所述信号传送模块被构造成：传送从所述检测单元接收的检测信号。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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