[发明专利]用于封装一MEMS装置的方法及系统无效
| 申请号： | 201110069655.0 | 申请日： | 2005-09-12 |
| 公开（公告）号： | CN102169229A | 公开（公告）日： | 2011-08-31 |
| 发明（设计）人： | 马克·W·迈尔斯;杰弗里·B·桑普塞尔;洛朗·帕尔玛蒂尔;布莱恩·W·阿巴克尔;菲利浦·D·弗洛伊德 | 申请（专利权）人： | 高通MEMS科技公司 |
| 主分类号： | G02B26/00 | 分类号： | G02B26/00;B81C1/00 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 沈锦华 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明涉及用于封装一MEMS装置的方法及系统。本发明揭示一种基于MEMS的显示装置，其中一干涉式调制器阵列配置成使光反射穿过一透明衬底。所述透明衬底密封至一背板，且所述背板可包含用于控制所述干涉式调制器阵列的电子电路。所述背板可为装置组件(例如，可用于控制所述显示器的状态的电子组件)提供实体支撑。所述背板还可用作所述装置的一个主要结构支撑。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 封装 mems 装置 方法 系统 | ||
【主权项】：
一种显示器装置，其包括：干涉调制器阵列，其安置在透明衬底的第一表面上；载体，其密封至所述透明衬底以形成囊封所述干涉调制器阵列的封装；外装置壳，其中所述载体安置在所述外装置壳中，且其中所述载体的硬度大于所述外装置壳的硬度。
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