[发明专利]一种三维高集成度系统级封装结构有效
申请号: | 201110069846.7 | 申请日: | 2011-03-22 |
公开(公告)号: | CN102176446A | 公开(公告)日: | 2011-09-07 |
发明(设计)人: | 陶玉娟;石磊 | 申请(专利权)人: | 南通富士通微电子股份有限公司 |
主分类号: | H01L25/00 | 分类号: | H01L25/00;H01L23/485;H01L23/31 |
代理公司: | 北京市惠诚律师事务所 11353 | 代理人: | 雷志刚;潘士霖 |
地址: | 226006 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明涉及一种三维高集成度系统级封装结构,包括线路整理晶圆;位于线路整理晶圆上的至少一组倒装封装层;位于倒装封装层上的至少一组布线封装层;位于末组布线封装层上的顶部倒装封装层;设置于线路整理晶圆下方的连接球。与现有技术相比,本发明请求保护的一种三维高集成度系统级封装结构,可以形成包含整体系统功能而非单一的芯片功能的最终封装产品,降低了系统内电阻、电感以及芯片间的干扰因素。此外,可以形成更为复杂的多层互联结构,实现封装密度更高的系统级封装。 | ||
搜索关键词: | 一种 三维 集成度 系统 封装 结构 | ||
【主权项】:
一种三维高集成度系统级封装结构,其特征在于,包括:线路整理晶圆;位于线路整理晶圆上的至少一组倒装封装层,所述倒装封装层包括依次位于线路整理晶圆上的倒贴装层、底部填充、封料层、布线层;位于倒装封装层上的至少一组布线封装层,所述布线封装层包括依次位于倒装封装层上的正贴装层、封料层、布线层;位于末组布线封装层上的顶部倒装封装层,所述顶部倒装封装层包括依次位于末组布线封装层上的倒贴装层、底部填充、封料层;设置于线路整理晶圆下方的连接球;其中,线路整理晶圆、各封装层之间透过布线层实现相邻封装层或间隔封装层间的电互联。
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