[发明专利]探测单元相对平行度调整装置

摘要

本发明提供了一种探测单元相对平行度调整装置，其能够在短时间内确认探测单元相对于在带状电极的宽度方向并列设置有带状电极的板构件是否平行，并在短时间内对其平行度进行调整。本发明的探测单元相对平行度调整装置包括：对探测单元相对于板构件的平行度进行调整的倾斜度调整机构；检测探测单元和板构件之间的距离的多个传感器；传感器输出取得单元，其取得探针和带状电极相对接近并接触前后的来自各传感器的输出；调整参照信息形成单元，其根据取得的各传感器的输出，形成在探测单元的平行度调整中所参照的信息。

主权项

一种探测单元相对平行度调整装置，其能够调整探测单元相对于板构件的相对平行度，在所述板构件上设置有沿带状电极的宽度方向并列设置的多个所述带状电极，在所述探测单元上设有下降时与所述各带状电极接触的探针，所述探测单元相对平行度调整装置的特征在于，包括：对所述探测单元相对于所述板构件的平行度进行调整的倾斜度调整机构；检测部位不同的多个传感器，其至少能够检测所述探测单元和所述板构件之间的距离；传感器输出取得单元，其取得从所述探针和所述带状电极之间从非接触状态开始到相对地接近并接触为止的位置变化期间中至少接触前后的来自所述各传感器的输出；和调整参照信息形成单元，其根据所述传感器输出取得单元所取得的所述各传感器的输出，形成在所述探测单元的平行度调整中所参照的信息。