[发明专利]晶片加工用胶带有效
申请号: | 201110080346.3 | 申请日: | 2011-03-31 |
公开(公告)号: | CN102206469A | 公开(公告)日: | 2011-10-05 |
发明(设计)人: | 三原尚明;盛岛泰正 | 申请(专利权)人: | 古河电气工业株式会社 |
主分类号: | C09J7/02 | 分类号: | C09J7/02;H01L21/683;H01L21/78 |
代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人: | 丁香兰;张志楠 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供一种晶片加工用胶带,其具有适于通过扩张来截断接合剂层的工序的均匀扩张性,且在加热收缩工序中显示充分的收缩性,加热收缩工序后不会因松弛引起不良情况。作为通过扩张将接合剂层(13)沿芯片截断时所用的可扩张的晶片加工用胶带10的基材膜11,使用JIS K7206中规定的维氏软化点为50℃以上且不足90℃、热收缩所致的应力增大在9MPa以上的热塑性交联树脂。 | ||
搜索关键词: | 晶片 工用 胶带 | ||
【主权项】:
一种晶片加工用胶带,其是可扩张的晶片加工用胶带,该晶片加工用胶带用于通过扩张将接合剂层沿芯片截断时,其特征在于,其具有基材膜和设置在所述基材膜上的粘合剂层,所述基材膜由JIS K7206中规定的维氏软化点为50℃以上且不足90℃的热塑性交联树脂形成,以JIS K7162中规定的方法,对该晶片加工用胶带的试验片施加10%的拉伸变形后,直接在保持夹具间距离恒定的状态下,在加热至该试验片的温度达到70℃的过程、将该试验片在70℃的温度保持1分钟的过程和其后将该试验片返回室温的过程中,该试验片的最大热收缩应力比即将开始加热之前的初期应力大9MPa以上。
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