[发明专利]可动狭缝刀片有效
| 申请号： | 201110081201.5 | 申请日： | 2011-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN102736420A | 公开（公告）日： | 2012-10-17 |
| 发明（设计）人： | 曹昌智 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G02B17/08;G02B1/10;G02B7/18;G02B7/00;G02B1/00 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提出一种可动狭缝刀片，用于形成光刻机的曝光视场。可动狭缝刀片沿入射光方向包括透光板和吸光片。透光板用以传导入射光。吸光片用于吸收入射光。其中，在透光板和吸光片的侧面还包括反光棱镜，反光棱镜与透光板之间具有一间隔，将入射光反射入透光板和吸光片。本发明所提供的可动狭缝刀片，位置精确可调，不影响曝光精度，具有较高的可维护性。 | ||
| 搜索关键词： | 狭缝 刀片 | ||
【主权项】：
一种可动狭缝刀片，用于形成光刻机的曝光视场，其特征是，沿入射光方向包括：透光板，用以传导入射光；以及吸光片，用于吸收入射光；其中，在所述透光板和所述吸光片的侧面还包括反光棱镜，所述反光棱镜与所述透光板之间具有一间隔，将所述入射光反射入所述透光板和所述吸光片。
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