[发明专利]薄膜图案的制造设备和方法有效
| 申请号： | 201110082797.0 | 申请日： | 2011-04-01 |
| 公开（公告）号： | CN102236252A | 公开（公告）日： | 2011-11-09 |
| 发明（设计）人： | 权当;宋泰俊;赵恒燮;赵圣弼;金淏洙;张斗熙 | 申请（专利权）人： | 乐金显示有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 李辉;孙海龙 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明公开了一种薄膜图案的制造方法和设备，其能够在将压印模具从基板脱模的脱模工艺中在压印模具和基板之间形成脱模种子。薄膜图案的制造方法包括在基板的边缘区域之外的其它区域上涂覆压印树脂，通过将压印模具与压印树脂接触而在基板上形成薄膜图案；以及将所述压印模具从所述基板脱模。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜 图案 制造 设备 方法 | ||
【主权项】：
一种薄膜图案的制造方法，所述方法包括：在基板的边缘区域之外的其它区域上涂覆压印树脂；通过将压印模具与所述压印树脂接触，在所述基板上形成薄膜图案；以及将所述压印模具从所述基板脱模。
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