[发明专利]多台多晶硅还原炉生产多晶硅的反应系统及操作方法无效

专利信息
申请号: 201110088431.4 申请日: 2011-04-08
公开(公告)号: CN102167327A 公开(公告)日: 2011-08-31
发明(设计)人: 刘春江;赵丹;李雪;段长春;袁希钢 申请(专利权)人: 天津大学
主分类号: C01B33/035 分类号: C01B33/035
代理公司: 天津市北洋有限责任专利代理事务所 12201 代理人: 王丽
地址: 300072 天*** 国省代码: 天津;12
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 发明涉及一种多台多晶硅还原炉生产多晶硅的反应系统及操作方法。系统包含多台多晶硅还原炉和一台换热器;多台多晶硅还原炉串联连接,除第一台还原炉外,其余各台还原炉的进料口和与之相邻的上一台还原炉的出料口相连,且在相连的进料口和出料口之间连接有氢气供应管道;系统中换热器的两个进口分别连接进料管和最后一台还原炉的出料口,两个出口分别连接第一台还原炉的进料口和最终尾气排放口。本发明明显增加了反应物料在还原炉内的停留时间,可以将三氯氢硅的单程转化率提高到30~40%;省去了对每台还原炉的尾气进行分离提纯的步骤,节约了生产成本,减少了各台还原炉进料加热的能量投入,降低了多晶硅生产的能耗。
搜索关键词: 多晶 还原 生产 反应 系统 操作方法
【主权项】:
一种多台多晶硅还原炉生产多晶硅的反应系统,其特征是包含多台多晶硅还原炉和一台换热器;其中多台多晶硅还原炉串联连接,除第一台还原炉外,系统中其余各台还原炉的进料口和与之相邻的上一台还原炉的出料口相连,且在相连的进料口和出料口之间连接有氢气供应管道;系统中换热器的两个进口分别连接进料管和最后一台还原炉的出料口,两个出口分别连接第一台还原炉的进料口和最终尾气排放口。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于天津大学,未经天津大学许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201110088431.4/,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top