[发明专利]一种Sn-Si靶材无效
| 申请号： | 201110098351.7 | 申请日： | 2011-04-20 |
| 公开（公告）号： | CN102146555A | 公开（公告）日： | 2011-08-10 |
| 发明（设计）人： | 文宏福 | 申请（专利权）人： | 韶关市欧莱高新材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/08;C23C14/06;B22F3/10 |
| 代理公司： | 韶关市雷门专利事务所 44226 | 代理人： | 周胜明 |
| 地址： | 512000 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种Sn-Si靶材，它是一种用于生产氧化物、氮化物和碳化物薄膜的Sn-Si靶材，它的化学组分和重量配比是：Sn为5-95%、Si为95-5%。本发明采用Sn以及Si为原料生产Sn-Si靶材，具有制作工艺简单、制作成本低、耐磨性能好、应用范围广的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 sn si 靶材 | ||
【主权项】：
一种Sn‑Si靶材，其特征在于：它是一种用于生产氧化物、氮化物和碳化物薄膜的Sn‑Si靶材，它的化学组分和重量配比是：Sn为5‑95%、Si为95‑5%。
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