[发明专利]冷阱及真空排气装置有效
| 申请号： | 201110099460.0 | 申请日： | 2011-04-20 |
| 公开（公告）号： | CN102743894A | 公开（公告）日： | 2012-10-24 |
| 发明（设计）人： | 田中秀和 | 申请（专利权）人： | 住友重机械工业株式会社 |
| 主分类号： | B01D8/00 | 分类号： | B01D8/00;F04B37/08 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 徐殿军 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种冷阱及真空排气装置，其能够在短时间内使排气对象容积恢复到所希望的真空度。冷阱(210)具备冷冻机(222)及热连接于冷冻机(222)并被冷却的冷板(220)。在冷板(220)上形成有粗糙面(242)。冷阱(210)例如配置于将真空室(216)连接于涡轮分子泵(212)的排气流路(214)中，使从真空室(216)通过排气流路(214)吸入至涡轮分子泵(212)并被排气的气体的一部分在冷板(220)的表面上冻结来捕捉。 | ||
| 搜索关键词： | 真空 排气装置 | ||
【主权项】：
一种冷阱，其具备冷冻机及热连接于该冷冻机并被冷却的冷板，其特征在于，在所述冷板上形成有粗糙面。
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