[发明专利]镀膜件的制备方法及由该方法制得的镀膜件无效
| 申请号： | 201110100665.6 | 申请日： | 2011-04-21 |
| 公开（公告）号： | CN102747333A | 公开（公告）日： | 2012-10-24 |
| 发明（设计）人： | 张新倍;陈文荣;蒋焕梧;陈正士;林顺茂 | 申请（专利权）人： | 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/14 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518109 广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种镀膜件的制备方法，其包括如下步骤：提供基材；采用粉末冶金法，以金属铜粉和铁粉为原料制备铜铁复合靶；采用磁控溅射法，以铜铁复合靶为靶材在基材表面溅射形成铜铁合金层。本发明所述铜铁合金层的制备利用铜和铁原子同时溅射并沉积于基材表面以及较低的沉积温度，制备出超饱和的铜铁合金。所述镀膜件的制备方法工艺稳定、可靠且环保。本发明还提供一种由上述方法制得的镀膜件。 | ||
| 搜索关键词： | 镀膜 制备 方法 法制 | ||
【主权项】：
一种镀膜件的制备方法，其包括如下步骤：提供基材；采用粉末冶金法，以金属铜粉和铁粉为原料制备铜铁复合靶；采用磁控溅射法，以上述步骤制备的铜铁复合靶为靶材，在基材表面溅射形成铜铁合金层。
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