[发明专利]对准标记的检测方法及布线电路板的制造方法有效
| 申请号： | 201110102547.9 | 申请日： | 2011-04-21 |
| 公开（公告）号： | CN102253611A | 公开（公告）日： | 2011-11-23 |
| 发明（设计）人： | 村上巧丞;有马明;服部智洋;宫崎修平 | 申请（专利权）人： | 日东电工株式会社 |
| 主分类号： | G03F9/00 | 分类号： | G03F9/00;G03F7/20;H05K3/06 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;张会华 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种对准标记的检测方法及布线电路板的制造方法。在由摄像机获得的图像的范围内不存在对准标记的情况下，基于存在于图像的范围内的识别标记和所预先存储的对准标记与识别标记间的位置关系算出对准标记的坐标。基于算出的对准标记的坐标算出为了使对准标记位于摄像机的拍摄范围内而要使长条状基材移动的距离，使长条状基材移动算出的距离。 | ||
| 搜索关键词： | 对准 标记 检测 方法 布线 电路板 制造 | ||
【主权项】：
一种对准标记的检测方法，其用于在对基材进行曝光处理时使光掩模与上述基材的曝光区域对位，上述基材具有上述对准标记，且在与上述对准标记不同的位置具有查找用标记，该对准标记的检测方法包括如下工序：预先存储上述对准标记和上述查找用标记间的位置关系；利用摄像装置拍摄上述基材而获取上述基材的图像，将该基材的图像作为第1图像；在上述获取的第1图像内不存在上述对准标记而存在上述查找用标记的情况下，基于上述第1图像内的上述查找用标记的位置和上述存储的位置关系，算出为了使上述对准标记存在于上述摄像装置的拍摄范围内而要使上述基材移动的距离；使上述基材移动上述算出的距离；在上述基材移动后，利用上述拍摄装置获取上述基材的图像，将该基材的图像作为第2图像，检测出存在于所获取的第2图像内的上述对准标记的位置。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于日东电工株式会社，未经日东电工株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201110102547.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种确定IP安全虚拟专用网隧道数量的方法和装置
- 下一篇：永磁工作台
