[发明专利]透明导电膜湿法蚀刻液组合物无效
| 申请号： | 201110109688.3 | 申请日： | 2011-04-29 |
| 公开（公告）号： | CN102241985A | 公开（公告）日： | 2011-11-16 |
| 发明（设计）人： | 张军;常积东;李承孝 | 申请（专利权）人： | 西安东旺精细化学有限公司 |
| 主分类号： | C09K13/06 | 分类号： | C09K13/06 |
| 代理公司： | 西安智邦专利商标代理有限公司 61211 | 代理人： | 徐平 |
| 地址： | 710075 陕西省西安*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明提供一种透明导电膜湿法蚀刻液组合物。该透明导电膜湿法蚀刻液组合物包含(1)0.5-10wt％的草酸；(2)0.1-40wt％的硫酸；(3)0.01-10wt％的铵盐；(4)0.001-10wt％的表面活性剂；(5)余量水。该蚀刻液组合物蚀刻速率均匀稳定，无残留，不腐蚀配线。 | ||
| 搜索关键词： | 透明 导电 湿法 蚀刻 组合 | ||
【主权项】：
一种透明导电膜湿法蚀刻液组合物，其特征在于：所述的蚀刻液组合物为草酸和硫酸的水溶液，其中草酸含量为0.5‑10wt％；硫酸含量为0.1‑40wt％。
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