[发明专利]新型的硅片甩干机内筒结构无效
申请号: | 201110111022.1 | 申请日: | 2011-04-29 |
公开(公告)号: | CN102226641A | 公开(公告)日: | 2011-10-26 |
发明(设计)人: | 陈世强;顾正初 | 申请(专利权)人: | 无锡市奥曼特科技有限公司 |
主分类号: | F26B25/18 | 分类号: | F26B25/18 |
代理公司: | 无锡盛阳专利商标事务所(普通合伙) 32227 | 代理人: | 顾吉云 |
地址: | 214024 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明提供了新型的硅片甩干机内筒结构,其结构简单,安装方便。其包括底板和硅片盒放置夹具,其特征在于:所述硅片盒放置夹具沿所述底板周向安装于所述底板上,相邻两个所述硅片盒放置夹具之间通过筋板连接。 | ||
搜索关键词: | 新型 硅片 甩干机内筒 结构 | ||
【主权项】:
新型的硅片甩干机内筒结构,其包括底板和硅片盒放置夹具,其特征在于:所述硅片盒放置夹具沿所述底板周向安装于所述底板上,相邻两个所述硅片盒放置夹具之间通过筋板连接。
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