[发明专利]一种金刚线切割硅片的清洗方法有效
| 申请号： | 201110111779.0 | 申请日： | 2011-04-30 |
| 公开（公告）号： | CN102225406A | 公开（公告）日： | 2011-10-26 |
| 发明（设计）人： | 李毕武;唐传兵;刘振淮;黄振飞 | 申请（专利权）人： | 常州天合光能有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/08 | 分类号： | B08B3/08;B08B3/12;B08B3/02;B08B7/02 |
| 代理公司： | 常州市维益专利事务所 32211 | 代理人： | 王凌霄 |
| 地址： | 213031 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及切割硅片的后处理技术领域，特别是一种金刚线切割硅片的清洗方法。该方法如下：经过脱胶后的硅片分别在碱性清洗剂和乳酸中进行粗洗，碱性清洗剂的pH＝9～10，温度30～50℃，乳酸的温度为60℃，然后分别在碱性清洗剂和纯水中进行精洗，碱性清洗剂的pH＝9～10，温度70～90℃。该清洗方法的根本革新在于：通过对硅片清洗液的pH的提高、以及温度的提高，使得其硅片表面更加干净，表面损伤层去除更大，同时对于硅片的碱制绒工艺起到表面活化作用。这样硅片在制绒时，金字塔绒面的覆盖率较高，绒面比较均一。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 金刚 切割 硅片 清洗 方法 | ||
【主权项】：
一种金刚线切割硅片的清洗方法，其特征是：金刚线切割的硅片首先经过脱胶粗洗处理，然后进行精洗，硅片的脱胶粗洗处理经过多道清洗步骤，分别是：1)在30～50℃水中清洗；2)在碱性清洗剂中清洗，碱性清洗剂的pH＝9～10，温度30～50℃；3)在30～50℃水中清洗；4)在50～70℃乳酸中清洗；5)在30～50℃水中通过清洗；6)在常温水中清洗；精洗工艺共经过多道清洗步骤和烘干处理，分别是：1)在碱性清洗剂中清洗，碱性清洗剂的pH＝9～10，温度70～90℃，该清洗步骤，配制1～3道；2)在40～60℃水中清洗，该清洗步骤，配制1～3道；3)在60～80℃水中清洗，该清洗步骤，配制1～3道；4)硅片烘干，该烘干步骤，配制1～3道。
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