[发明专利]片盒定位机构和具有该片盒定位机构的腔室装置有效
| 申请号： | 201110115912.X | 申请日： | 2011-05-05 |
| 公开（公告）号： | CN102768975A | 公开（公告）日： | 2012-11-07 |
| 发明（设计）人： | 张鹏 | 申请（专利权）人： | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 |
| 主分类号： | H01L21/68 | 分类号： | H01L21/68;H01L21/673;H01L21/00 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 宋合成 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了片盒定位机构和具有该片盒定位机构的腔室装置。片盒定位机构包括：位于片盒的底部的片盒底板，所述片盒底板的前侧间隔地设有第一和第二开口槽；和片盒安装板，其设有配合在所述第一开口槽内的第一定位销轴和配合在所述第二开口槽内的第二定位销轴，片盒安装板上还设有用于定位所述片盒底板后侧的第三定位结构。根据本发明实施例的片盒定位机构，定位配合的可观察性好、便于操作。此外，安装起来方便快捷。并且，节省了操作者的体力，使安装过程变得轻松容易。而且，能够精细地控制片盒的状态，从而可以避免出现片盒因失控而碰撞片盒安装板，从而能够确保托盘准确定位的同时保证放置在托盘上的衬底的安全。 | ||
| 搜索关键词： | 定位 机构 具有 该片 装置 | ||
【主权项】：
一种片盒定位机构，其特征在于，包括：片盒底板，所述片盒底板位于片盒的底部，所述片盒底板的前侧间隔地设有第一和第二开口槽；和片盒安装板，所述片盒安装板上设有配合在所述第一开口槽内的第一定位销轴和配合在所述第二开口槽内的第二定位销轴，所述片盒安装板上还设有用于定位所述片盒底板后侧的第三定位结构。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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