[发明专利]阵列基板的检测方法及检测系统无效
| 申请号： | 201110142739.2 | 申请日： | 2011-05-30 |
| 公开（公告）号： | CN102193223A | 公开（公告）日： | 2011-09-21 |
| 发明（设计）人： | 郑文达 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/13 | 分类号： | G02F1/13;G01J5/00 |
| 代理公司： | 广东国晖律师事务所 44266 | 代理人： | 陈琳 |
| 地址： | 518132 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种阵列基板的检测方法及缺陷检测系统，所述的方法包括：向所述阵列基板上的数据线或/和栅极线供电，并持续设定的时间；对所述阵列基板上数据线或/和栅极线进行温度感测，记录温度感测结果；根据温度感测结果查找数据线或/和栅极线上的缺陷点。本发明提供的技术方案可以检测出阵列基板数据线或/和栅极线内部的缺陷，从而避免不良产品进入后续的制程，提升产品的品质，避免浪费。 | ||
| 搜索关键词： | 阵列 检测 方法 系统 | ||
【主权项】：
一种阵列基板的检测方法，所述的方法包括：向所述阵列基板上的数据线或/和栅极线供电，并持续设定的时间；对所述阵列基板上数据线或/和栅极线进行温度感测，记录温度感测结果；查找所述温度感测结果中异常的温度数据，查找所述异常的温度数据对应的数据线或/和栅极线上的点，将所述异常的温度数据对应的数据线或/和栅极线上的点作为缺陷点。
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