[发明专利]薄膜有效
| 申请号： | 201110144307.5 | 申请日： | 2011-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN102729142A | 公开（公告）日： | 2012-10-17 |
| 发明（设计）人： | 廖建茂;陈逸男;刘献文 | 申请（专利权）人： | 南亚科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/11 | 分类号： | B24B37/11 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 臧建明 |
| 地址： | 中国台湾桃园县龟山*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 一种薄膜，适用于安装在化学机械研磨机的研磨头上，且薄膜包括主要部分及边缘部分。边缘部分位于主要部分的边缘，其特征在于主要部分与边缘部分之间的第一夹角为钝角。本发明可使经研磨后的基材具有较佳的表面平坦度。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜 | ||
【主权项】：
一种薄膜，适用于安装在一化学机械研磨机的一研磨头上，该薄膜包括：一主要部分；以及一边缘部分，位于该主要部分的边缘，其特征在于该主要部分与该边缘部分之间的一第一夹角为钝角。
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