[发明专利]压印装置以及利用该压印装置的压印方法有效
| 申请号： | 201110147244.9 | 申请日： | 2011-05-27 |
| 公开（公告）号： | CN102269928A | 公开（公告）日： | 2011-12-07 |
| 发明（设计）人： | 张斗熙;宋泰俊;权当;赵恒燮;赵圣弼;金淏洙;张真稀 | 申请（专利权）人： | 乐金显示有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;钟强 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 公开了一种压印装置以及利用该压印装置的压印方法，其有助于防止在基板上形成图案的工艺被平台的平面度影响。该压印装置包括：室单元，在室单元中进行在基板上形成图案的工艺；平台，用于支撑基板，该基板上形成有树脂层，其中该平台安装在室单元中；安装构件，在该安装构件上贴附有模具构件以改变树脂层的形状从而在基板上形成图案，其中该安装构件安装在室单元中并且位于平台的上方；以及第一喷射单元，用于喷射流体从而使平台所支撑的基板与该平台分开，其中该第一喷射单元安装在室单元中，其中该安装构件使模具构件沿着逐渐靠近与平台分开的基板的方向移动，从而使模具构件与树脂层彼此接触。 | ||
| 搜索关键词： | 压印 装置 以及 利用 方法 | ||
【主权项】：
一种压印装置，包括：室单元，在所述室单元中进行在基板上形成图案的工艺；平台，用于支撑基板，在所述基板上形成有树脂层，其中所述平台安装在所述室单元中；安装构件，在所述安装构件上贴附有模具构件以改变所述树脂层的形状从而在基板上形成图案，其中所述安装构件安装在所述室单元中并且位于所述平台上方；以及第一喷射单元，用于喷射流体从而使平台所支撑的基板与所述平台分开，其中所述第一喷射单元安装在所述室单元中，其中所述安装构件使所述模具构件沿着逐渐靠近与所述平台分开的基板的方向移动，从而使所述模具构件与所述树脂层彼此接触。
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