[发明专利]一种平板X射线探测器

摘要

本发明提供一种平板X射线探测器及其制备方法，所述平板X射线探测器包括衬底、TFT、光电二极管和电容。其中，所述衬底包括由多个TFT和光电二极管组成的阵列区域；TFT的底栅和电容的下电极制作在衬底上方；光电二极管位于电容的上方，电容的上电极为光电二极管的下电极。相应的，本发明还提供一种平板X射线探测器的制备方法。在制作TFT的栅极时同步制作了位于光电二极管下方的电容下电极，不需要额外工艺制作电容来实现X射线的自动曝光控制功能，可以节约制造成本，并且电容制作在光电二极管的下方，不会影响X射线的影像质量。

主权项

一种平板X射线探测器，其特征在于，包括：衬底，所述衬底上包括多个TFT和光电二极管组成的阵列区域；所述衬底上的栅层，所述栅层中包括TFT的底栅和电容下电极，所述电容下电极位于所述光电二极管区域的下方；所述栅层上方的介质层，所述介质层覆盖在所述TFT和光电二极管区域；位于光电二极管区域介质层上方的电容上电极，所述电容上电极与所述介质层和所述电容下电极形成电容；所述电容的上电极上方的光电二极管，所述光电二极管的下电极为所述电容的上电极。